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氧化铝在蓝宝石抛光领域的应用

蓝宝石用α-氧化铝抛光浆料（VK-L30W）

随着科学技术的发展，晶体材料的使用愈加广泛和重要，因此晶体材料的开发、加工及应用普遍受到人们的重视。其中，蓝宝石是用途最广泛的晶体材料之一，不仅有良好的物理和化学性能，同时也具有优异的光学性能——主要表现在可透过蓝宝石的光的波长范围广，且由于透光率高，光能损失少，可增强信号的精确性。

蓝宝石的应用领域

但为了将蓝宝石的光学性能发挥出来，它本身必须要高质量低损伤——尤其在高精尖领域中，很多厂商都要求晶体表层一定要达到超过光滑表面的技术指标，粗糙度需低于几个纳米，晶体表面没有任何的损坏和划痕，因此对蓝宝石的精密抛光与超精密抛光的挑战不可谓不大。

氧化铝在蓝宝石抛光领域的应用

相对于其他抛光技术来说，目前化学机械抛光技术（CMP）是唯一可以实现全局化精细抛光的工艺。在抛光过程中，浆料可与蓝宝石单晶片发生化学反应生成一种硬度低于蓝宝石的物质，磨料与该物质进行机械摩擦进移除，消除不平整的部位，抛光后的蓝宝石粗糙度低，表面质量高，符合“大面积、高质量”的要求。

抛光浆料一般由磨料、腐蚀介质等成分组成，这些磨料主要起机械研磨作用，但部分磨料同时也能起到与蓝宝石表面发生化学反应的作用。目前被广泛应用在蓝宝石CMP中的抛光浆料主要有二氧化硅抛光浆料(VK-SP30W)、α-氧化铝抛光浆料（VK-L30W）、二氧化铈抛光浆料（VK-CE30W）等。

其中，氧化铝磨料（VK-L30W）的硬度与蓝宝石（莫氏硬度为9）接近，在对蓝宝石抛光过程中的材料去除速率较高，因而逐渐成为抛光蓝宝石的热门磨料之一。不过，虽然有明显优势，但由于氧化铝自身性质，以其为磨料配制的抛光浆料并不稳定易团聚，容易造成蓝宝石表面划痕严重、平整度降低，如何克服氧化铝系抛光浆料稳定性成为当下研究热点。

宣城晶瑞新材料有限公司是国内较早大规模产业化生产纳米氧化铝的厂家，目前已经能稳定生产提供纳米氧化铝系列粉体及分散液浆料产品，原生粒径可控制在10-200nm范围，比表面积可提供10-200m2/g系列产品。a相纳米氧化铝抛光液（VK-L30W），是我公司将30纳米氧化铝抛光粉经过特殊的分散工艺，分散成稳定的抛光浆料，方便直接使用于粉体抛光粉适用的各种领域。18620162680微信同步。

a相纳米氧化铝抛光液（VK-L30W）

技术特征：

·晶粒尺寸微细、晶型完好；

·比重大，具有良好的分散性。

·颗粒细小均匀无团聚，适合于镜面精抛光用途。

氧化铝抛光液（VK-L30W）用于蓝宝石抛光比氧化硅的抛光速率快3倍左右，每小时能抛7-10um。